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EVG获得VTT技术研究中心用于[超越摩尔]研究光刻机订单

发布时间:2020-06-18

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ST.奥地利弗洛里安报道 — EV集团(EVG)是面向MEMS,纳米技术和半导体市场的晶圆键合和光刻设备的领 先供应商,今 天宣布已从芬兰VTT技术研究中心(VTT)收到其EVG®120自动抗蚀剂处理系统的订单)。作为EVG晶圆键合和对准系统的现有客户,VTT率先订购了zui新版本的EVG120系统,与上一代平台相比,该功能得到了增强,以提供更高的可靠性,吞吐量和工艺性能。 。VTT将使用新的EVG120系统来增加容量,以支持涉及新的和不同涂层材料的并行研发项目,并支持MEMS,光电,“超越摩尔”技术领域的新研究应用。

       VTT工艺工程经理Heini Saloniemi表示:“光刻在为数字社会提供动力的设备的生产过程中起着至关重要的作用。“经过对光刻涂层系统的全 面产品评估,VTT在竞争性招标中选择了EVG120,并将涂层均匀性和涂层厚度的可重复性列为主要评估标准。我们期待收到新的EVG120系统,这将改善我们的光刻工艺能力,使我们能够探索新的研究途径。”

       EVG120自动抗蚀剂处理系统可在通用平台上提供可靠且高质量的涂层和显影工艺。它的多功能性和灵活性,以及较低的拥有成本,使其成为许多开发项目可以并行运行的研究环境的理想系统,而其高吞吐率使其可用于批量生产。

       更新后的EVG120平台保留了上一代平台的所有行业领 先功能,包括:紧凑的设计,占用空间zui小;可定制的模块配置,用于旋涂和喷涂,显影,烘烤和冷却;EVG的CoverSpin™技术可优化奇形和方形基材的涂层均匀性;EVG专有的OmniSpray®技术用于极端地形的保形涂层;和晶圆边缘处理。

       更新平台上的新功能包括:

  • 分离湿处理模块,以实现恒定条件的腔室到腔室
  • 集成式化学柜,适用于抗蚀剂泵和瓶子(包括对高粘度抗蚀剂的支撑),以改善工艺控 制并缩短分配周期
  • 新型机器人处理系统可提供zui高的可靠性和更高的吞吐量
  • 可选的湿度和温度控 制,用于恒定的环境条件

       “作为芬兰领 先的研究机构,VTT在全球拥有强大的行业合作伙伴全球网络,可将突破性的研究转化为可再生能源,医 疗保 健,智能产业和智能城市以及其他领域的新产品和服务。努力不懈地支持我们的主要客户,例如VTT,” EV集团产品管理总监Thomas Wagenleitner说道。“作为这项工作的一部分,我们利用了20多年的抗蚀剂处理经验,以不断改进我们的行业基准EVG120平台。这使我们能够以更低的拥有成本为客户提供更高水平的涂层性能。对于像VTT这样的尖 端技术的生产工厂和研究实验室而言,这都是至关重要的。”

EVG120抗蚀剂处理机

关于芬兰VTT技术研究中心

       芬兰VTT技术研究中心有限公司是欧洲领 先的研究和技术组 织之一。VTT在芬兰具有国 家授权。我们使用我们的研究和知识为我们的国内外客户和合作伙伴提供专 家服务。我们为私人和公共部门提供服务。我们拥有75年的丰富经验,可通过顶 级研究和基于科学的成果来支持客户的成长。我们开发新的智能技术,有利可图的解决方案和创新服务。我们与客户合作,为企业生产技术,并为社会造福成功和幸福。有关芬兰VTT技术研究中心的更多信息,请访问http://www.vttresearch.com/。

       VTT Memsfab Ltd是VTT的子公司,提供中小型晶圆加工服务。我们专注于MEMS,光子组件和其他微/纳米电子设备。
       我们的制造通常基于与芬兰VTT技术研究中心共同开发的成熟技术平台。我们的服务使您可以在同一晶圆厂中快 速设计和制造新组件,从而消 除了昂贵且风 险高的技术转让项目。有关VTT Memsfab的更多信息,请访问https://www.vttmemsfab.fi/。

关于EV集团(EVG)

       EV Group(EVG)是制造半导体,微机电系统(MEMS),化合物半导体,功率器件和纳米技术器件的设备和工艺解决方案的领 先供应商。主要产品包括晶圆键合,薄晶圆处理,光刻/纳米压印光刻(NIL)和计量设备,以及光刻胶涂布机,清洁剂和检查系统。EV Group成立于1980年,为全球范围内的精致的全球客户和合作伙伴提供服务并提供支持。

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