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使用硅基氮化镓(GaN-on-Si)的microLED显示技术发展趋势

发布时间:2020-07-28

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英格兰普利茅斯-2018年11月12日报道:屡获殊荣的光电技术解决方案的领 先开发商Plessey宣布与EV Group(EVG)进行合作,EV Group是面向MEMS,纳米技术和半导体市场的晶圆键合和光刻设备的领 先供应商,将高性能的硅上氮化镓(GaN-on-Si)单片microLED技术推向大众市场。microLED是下一代AR应用的关键光学技术。

       Plessey已从EVG购买了GEMINI®生产晶圆键合系统,以实现Plessey在英国普利茅斯的制造工厂的键合和对准。这使Plessey能够在晶圆级将其GaN-on-Si microLED阵列结合到面板的背板,并具有实现非常小的像素尺寸所需的高水平的对准精度。
       EVG的专 利SmartView®NT自动键对准系统技术可满足Plessey的要求,因为它可以使晶片面对面对准,并且精度很高。GEMINI自动化生产晶圆键合系统可实现zui高水平的自动化和过程集成。用于批量生产的300mm晶圆对晶圆对准和晶圆键合工艺全部在一个全自动平台上执行。

EVG_GEMINI键合机

       Plessey工程副总裁John Whiteman解释说:“ GEMINI系统的模块化设计非常适合我们的需求。在一个系统中启用预处理,清洁,对齐(对准)和键合,这意味着拥有更高的产量和生产量。EVG提供的优质服务对于快 速有 效地使系统联机至关重要。”

       EVG的执行技术总监Paul Lindner表示:“我们很荣幸Plessey选择了我们蕞先进的GEMINI系统来支持其雄心勃勃的技术开发路线图和大批量生产计划。”

       该公告标志着Plessey在生产级设备投 资上的另一个重要里程碑,该设备将GaN-on-Si硅基氮化镓单片microLED产品推向市场。

关于普莱西

       Plessey是英国先进光电技术解决方案的领 先开发商。该公司为各种光电器件和系统提供其独特的专有硅上氮化镓平台的批量处理。
       Plessey的总部位于英国普利茅斯,拥有领 先的150mm和200mm晶圆加工设施,以进行产品的设计,测试和组装,以及一整套完善的光子表征和应用实验室。
       Plessey是用于显示引擎(DMD和LCOS)和全场发射microLED显示器的创新照明器的屡获殊荣的提供商,这些显示器将超高密度RGB像素阵列与高性能CMOS背板结合在一起,可产生非常高的亮度,低功耗以及用于头戴式显示器(HMD),增强现实(AR)和虚拟现实(VR)系统的高帧率图像源。 

关于EVG

       EV Group(EVG)是制造半导体,微机电系统(MEMS),化合物半导体,功率器件和纳米技术器件的设备和工艺解决方案的领 先供应商。主要产品包括晶圆键合,薄晶圆处理,光刻/纳米压印光刻(NIL)和计量设备,以及光刻胶涂布机,清洗机和工艺检测系统。成立于1980年的EV Group服务于复杂的全球客户和合作伙伴网络,并为其提供支持。

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