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岱美中国拿到采购Filmetrics膜厚测量仪F30膜厚仪的订单(2013.9)

发布时间:2020-06-29

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       岱美中国拿到采购Filmetrics膜厚测量仪F30的订单。该客户是由中国科学院半导体所、广东省工业技术研究院、广东省广晟资产经营有限公司等公司组建而成。公司注册资本为1.3亿元人 民币。该公司以中科院半导体研究所为技术依托,聚集国内外上等人才团队,专注于半导体照明核 心装备—-金属有机化学气相沉积(MOCVD)的研发与制造,力争成为国际上等的MOCVD装备制造企业。
       F30在线膜厚测量仪采用的是波长范围在380-1050nm的可见光干涉测量,主要应用于测量半透明或轻度吸光膜层的沉积速率、厚度、光学常数和厚度均匀性等,膜厚测量范围:15nm-100um,准确度为1%,可实时监控膜层沉积的情况,是一款性价比很高的膜厚测量设备。(该设备已于2013年8月份交付客户使用)
       F30设备照片:
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