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岱美中国拿到Filmetrics膜厚测量仪F50-UV的订单(2017,05)

发布时间:2020-07-24

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       岱美中国拿到Filmetrics膜厚测量仪F50-UV的订单。客户位于广东东莞,为中国国内头个专业生产氮化镓(GaN)衬底材料的企业。相关产品技术达到国际先进乃至国际优越水平,形成世界上等的国内zui大型的衬底材料及半导体设备的生产基地。企业拟以衬底核 心技 术为基础,zui早进入氮化物半导体技术的研发和生产,实现完整的产业链的垂直整合结构发展,打造国际上等的大型半导体材料科研生产基地,逐步推进形成达百亿产值的半导体产业集群。

      F50-UV膜厚测量仪采用的是波长范围在190-1100nm的紫外光以及可见光干涉测量,全自动机械找点,输出Mappinig图,*大支持12英寸的wafer,测量膜层厚度范围是1nm-40um,准确度高达0.4%或1nm,精度为0.07nm,广泛应用于半导体等众多行业。

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