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如何测试医学MEMS器件力学形貌

发布时间: 2021-01-04

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       MEMS和微结构是非常广范的医学和生物学应用的关键基础技术和横截面技术。使用范围从具有用于快速医学诊断的高频表面波的芯片实验室应用到用于助听器的MEMS麦克风以及基于微系统技术的医学成像超声换能器。
       您可以依靠基于显微镜的非接触式光学测量技术来确定医疗MEMS传感器和执行器的表面形貌和动态特性。例如,基于显微镜的振动测量还用于从自然到技术系统的仿生启发式“技术转移”,以测量昆虫听力的生物力学。
       一个实际的例子:
       在IVUS(血管内超声)和超声心动图等应用中,微加工超声换能器(pMUT和cMUT)突破了实时3D医学成像(超声)的领域。
       为了表征这些换能器元件的微观力学特性,必须在高频(〜10MHz)和高空间分辨率(<1μm)下进行测量。微系统分析仪提供的各种可能性可为pMUT和cMUT开发提供蕞大的精度和零接触的信息。
cMUT换能器阵列的偏转形状.jpeg
cMUT换能器阵列的偏转形状(阿尔伯塔大学)
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