键合机怎么用？|光刻机干嘛用的?|岱美仪器技术中心

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光刻机、键合机-选型图（EVG）
光刻键合设备选型图，整理自官网架构。2019年数据。

纳米压印-手册（英文原版）
纳米压印-手册（英文原版），来源于EVG官网

EVG键合机-手册（英文原版）
EVG®501 / EVG®510 / EVG®520 IS 是用于研发的键合机。

EVG光刻机-手册（中文版）
EVG600系列光刻机中文说明，翻译自EVG官/方资料。

EVG键合机-手册（中文版）
EVG500系列产品资料中文版，翻译自EVG官/方资料。

EVG光刻机-手册（英文原版）
EVG610 / EVG®620 NT / EVG®6200 NT / IQ Aligner / IQ Aligner® NT...

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