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Subnano 轮廓仪

Subnano 轮廓仪

  NanoX-2000/3000系列、3D光学干涉轮廓仪建立在移相干涉测量(PSI)、白光垂直扫描干涉测量(VSI)和单色光垂直扫描干涉测量(CSI)等技术的基础上,以其纳米级测量准确度和重复性(稳定性)定量地反映出被测件的表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。


 产品优势

  美国硅谷研发的核心技术和系统软件

  关键硬件采用美国、德国、日本等知名品牌

  PI纳米移动平台及控制系统

  Nikon干涉物镜

  NI信号控制板和Labview64 控制软件

  TMC光学隔振台

  测量准确度重复性达到世界先进水平(中国计量科学研究院证书)




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