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FR-μProbe

FR-μProbe



FR-μProbe 显微薄膜测量




原理介紹                                                                                                                                                                         FR-mProbe-1-small.jpg


FR-μProbe 是一款小型化的一站式解决方案,用于通过光学显微镜在各种模式下进行光学测量,例如                                                                           

吸光度、透射率、反射率和荧光。主要包含两个光学组件:一个在显微镜支持的光谱范围内运行的

光谱仪和一个安装在任何三筒光学显微镜 C-mount端口上的模块。用于测量的光源来自光学显微镜本身

。测量光斑的大小区域由所用物镜的放大倍数定义。通常对于 50X 物镜,量区域是一个直径约 5μm

圆形。通过使用更高放大倍率或更小孔径的物镜,可以进一步缩小测量光斑.





通过所测量反射率光谱與理论光谱处理,计算出所研究的薄膜堆叠区域的各层薄膜膜厚度和光学常数 (n & k)


FR-uProbe_2.jpgFR-pR膜厚仪特点.jpg


Fig. 1: FR-μProbe安装在使用内部光源的光学显微镜上     Fig. 2: 使用 FR-Monitor 软件通过显微镜的 20 倍物镜对厚 SiO2 膜进行测量.



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任何具有基本计算机技能的人都可以轻松使用该系统,无需任何光学知识,并且需要一台带有 USB 端口的 PC.



1. 规格如有更改,恕不另行通知, 2 与校准的光谱椭偏仪和 XRD 比较的测量值, 3. 15 天平均值的标准偏差平均值。 样品:Si 晶片上的 1 微米 SiO2,4。100 次厚度测量的标准偏差。 样品:Si 晶片上的 1 微米 SiO2,5. 2 (15 天内每日平均值的标准偏差)。 样品:Si 晶片上的 1 微米 SiO2。  显微镜上没有红外滤光片。** 使用反射物镜 


測量分析軟件


FR-Monitor® 為光譜測量控制軟件,並為廣泛的應用和多功能性提供獨特的功能。它實時獲取吸光度、透射率、反射率或熒光光譜,並憑藉在 Visual C++ 中實現的最先進算法執行非常快速的計算.

在吸光度/透射率配置中,所有典型參數,例如 A (absorbance ) 、T (transmittance )皆可計算。此外,還計算了其他非常規參數,例如在其他測量中非常有用的信號積分.

在反射率測量的情況下,FR-Monitor 軟件包括白光反射光譜 (WLRS) 算法 (ThetaMetrisisTM),用於精確計算膜厚(<10nm 至 100μm)和獨立的光學常數 (n & k) 並且支持(在透明或部分/全反射基板上)多層堆疊(<10 層)薄膜計算.






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