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薄膜应力仪,应力检测仪,3DMapping

薄膜应力仪,应力检测仪,3DMapping

产品简介:

美国Frontier Semiconductor(FSM)成立于1988年,总部位于圣何塞,多年来为半导体行业等高新行业提供各式精密的测量设备,客户遍布全世界, 主要产品包括:光学测量设备: 三维轮廓仪、拉曼光谱、 薄膜应力测量设备、 红外干涉厚度测量设备、电学测量设备:高温四探针测量设备、非接触式片电阻及 漏电流测量设备、金属污染分析、等效氧化层厚度分析 (EOT)

FSM128薄膜应力及基底翘曲测试设备

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在衬底镀上薄膜后, 因为两者材质不一样, 所以会引起应力. 如应力太大会引起薄膜脱落, 最终引致组件失效或可靠性不佳的问题. 薄膜应力激光测量仪利用激光测量样本的形貌,透过比较镀膜前后衬底曲率半径的变化, 以Stoney’s Equation计算出应力, 是品检及改进工艺的有效手段。


°  快速、非接触式测量

°  样品台可通用于3至8寸晶圆

128L型号适用于12寸晶圆

128G 型号适用于470 X 370mm样品,

另可按要求订做

°  专利双激光自动转换技术 

    如某一波长激光在样本反射度不足,系统会自动使用 

另一波长激光进行扫瞄,满足不同材料的应用

°  全自动平台,可以进行2D及3D扫瞄(可选)

°  可加入更多功能满足研发的需求

   电介质厚度测量

   光致发光激振光谱分析

(III-V族的缺陷研究)

°  500 及 900°C高温型号可选

°  样品上有图案亦适用

° 规格:

°  测量方式: 非接触式(激光扫瞄)

°  样本尺寸: 

°  FSM 128  : 75 mm to 200 mm

°  FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

°  FSM 128G: 最大550×650 mm

°  扫瞄方式: 高精度单次扫瞄、2D/ 3D扫瞄(可选)

°  激光强度: 根据样本反射度自动调节

°  激光波长:  650nm及780nm自动切换(其它波长可选)

°  薄膜应力范围: 1 MPa — 1.4 GPa

°  (硅片翘曲或弯曲度变化大于1 micron)

°  重复性: 1% (1 sigma)*

°  准确度: < 2.5%*

°  *使用20米半径球面镜

°  设备尺寸及重量:

°  FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 270 lbs

°  FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 280 lbs

°  FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 400 lbs

°  电源 : 110V/220V, 20A

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