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FR-pOrtable:USB膜厚仪

FR-pOrtable:USB膜厚仪

Thetametrisis膜厚FR-pOrtable是一款独特的USB便携式测量仪器,可对透明和半透明的单层或多层堆叠薄膜进行精确的无损测量(非接触式)。

 使用FR-pOrtable,用户可以在380-1020nm光谱范围内进行反射率和透射率测量。

       Thetametrisis膜厚FR-pOrtable的精巧简洁的设计以特制的的反射探头及宽带长寿命光源确保了高精度和可重复的便携式测量。

       FR-pOrtable既可以安装在提供的载物台上,也可以轻松转换为手持式厚度测量工具。放置在样品上方进行测量。

       FR-pOrtable是用工业环境(如Roll-to-Roll、带式输送机等)中涂层实时表征的可靠而精确的测厚仪。

       FR-pOrtable现场应用的唯一一款光学测量工具。


1. 应用领域

 

  •        大学&科研院所
  •        半导体(氧化物、氮化物、硅、电阻等)
  •        MEMS元器件(光刻胶、硅薄膜等)
  •        LED
  •        数据存储元件
  •        弯曲基材(衬底)上的硬/软涂层
  •        聚合物涂层、粘合剂等
  •        生物医学(parylene——派瑞林,气泡壁厚,等等)
  •        其他更多

2.产品特点

一键分析(无需初始化操作)动态测量

       测量光学参数(n&k,颜色)自动保存演示视频

       可测量600多种不同材料用于离线分析的多个设置免费软件更新服务

FR-prtable膜厚仪测量.jpg

3. 技术参数

厚度范围

12nm90μm

计算折射率

P

测厚准确度1

0.2%or1nm

测厚精确度2,3

0.02nm

稳定性4

0.05nm

样品规格

1mmto180mm或更大

光谱波段

380nm1020nm

工作距离

3mm-20mm

光斑大小

360um(diameter)

光源寿命

20000h

波长分辨率

0.8nm

可测量膜层堆叠层数

Max.5layers

测量速度

10ms

A/D转换器

16bit

电源

USB-supplied

外形尺寸

300mmx110mmx40mm5

4. 硬件配置

        现场适配器:根据测量现场需求

        透射率模块:用于测量涂层的透射率和吸收率光谱,涂层厚度等

        手动X-Y平台:用于在多个位置对涂层进行表征(手动移动)

5. 工作原理

       白光反射光谱(WLRS)测量方法是在一定波长范围内,分析垂直于样品表面的入射光和从单层或多层堆叠薄膜反射的反射光谱的分析方法。

       由界面&表面产生的反射光谱被用于确定独立和附着于基底(在透明或部分/全反射基底上)的堆叠膜层的厚度、光学常数(n&k)等。

FR-prtable膜厚仪原理.jpg

*规格如有更改,恕不另行通知,2测量结果与校准的光谱椭偏仪和XRD相比较,3连续15天测量的标准方差平均值.样品:1umSi2nSi.,4100次厚度测量的标准方差,样品:1umSi2nSi.,,52*超过15天的标准偏差日平均值样品:1umSi2nSi.

(如有需求,请与我们联系,点击下图可以了解更多关于Thetametrisis膜厚仪的产品信息)

FR-prtable膜厚仪品牌.jpg

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