1. 产品概述
FR-pRo膜厚仪: 按需搭建的薄膜特性表征工具。
FR-pRo膜厚仪 是一个模块化和可扩展平台的光学测量设备,用于表征厚度范围为1nm-1mm 的涂层。
FR-pRo膜厚仪 是为客户量身定制的,并广泛应用于各种不同的应用。
比如:
吸收率/透射率/反射率测量,薄膜特性在温度和环境控制下甚至在液体环境下的表征等等…
2. 膜厚仪应用
FR-pRo膜厚仪可由用户按需选择装配模块,和心部件包括光源,光谱仪(适用于 200nm-2500nm 内的任何光谱系统)和控制单元,电子通讯模块。
此外,还有各种各种配件,比如:
通过不同模块组合,蕞终的配置可以满足任何终端用户的需求。
3. 膜厚仪规格(Specificatins )
Model |
UV/Vis |
UV/NIR -EXT |
UV/NIR-HR |
D UV/NIR |
VIS/NIR |
D Vis/NIR |
NIR |
光谱范围 (nm) |
200 – 850 |
200 –1020 |
200-1100 |
200 – 1700 |
370 –1020 |
370 – 1700 |
900 – 1700 |
像素 |
3648 |
3648 |
3648 |
3648 & 512 |
3648 |
3648 & 512 |
512 |
厚度范围 |
1nm – 80um |
3nm – 80um |
1nm – 120um |
1nm – 250um |
12nm – 100um |
12nm – 250um |
50nm – 250um |
测量n*k 蕞小范围 |
50nm |
50nm |
50nm |
50nm |
100nm |
100nm |
500nm |
准确度*,** |
1nm or 0.2% |
1nm or 0.2% |
1nm or 0.2% |
1nm or 0.2% |
1nm or 0.2% |
2nm or 0.2% |
3nm or 0.4% |
精度*,** |
0.02nm |
0.02nm |
0.02nm |
0.02nm |
0.02nm |
0.02nm |
0.1nm |
稳定性*,** |
0.05nm |
0.05nm |
0.05nm |
0.05nm |
0.05nm |
0.05nm |
0.15nm |
光源 |
氘灯 & 钨卤素灯(内置) |
钨卤素灯(内置) |
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光斑 (直径) |
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350um (更小光斑可根据要求选配) |
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材料数据库 |
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> 600 种不同材料 |
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4. 膜厚仪配件(Accessries)
电脑 |
19 英寸屏幕的笔记本电脑/触摸屏电脑 |
聚焦模块 |
光学聚焦模块安装在反射探头上,光斑尺寸<100um |
薄膜/比色皿容器 |
在标准器皿中对薄膜或液体的透射率测量 |
接触式探头 |
用于涂层厚度测量和光学测量的配件,适用于弯曲表面和曲面样品 |
显微镜 |
用于高横向分辨率的反射率及厚度显微测量 |
Scanner (motorized) |
带有圆晶卡盘的Polar(R-Θ)或 Cartesian(X-Y)自动化样品台可选,Polar(R-Θ)样品台支持反射率测量,Cartesian(X-Y)样品台支持反射率和透射率测量 |
积分球 |
用于表征涂层和表面的镜面反射和漫反射 |
手动 X-Y 样品台 |
测量面积为 100mmx100mm 或 200mmx200mm 的x - y 手动平台 |
加热模块 |
嵌入FR-tool 中,范围由室温~200oC,通过FR-Monitor 运行可编程温控器(0.1 oC 精度). |
液体模块 |
聚四氟乙烯容器,用于通过石英光学窗口测量在液体中的样品。样品夹具, 用于将样品插入可处理 30mmx30mm 样品的液体中 |
流通池 |
液体中吸光率、微量荧光测量 |
5. 膜厚仪工作原理
白光反射光谱(WLRS)是测量垂直于样品表面的某一波段的入射光,在经多层或单层薄膜反射后,经界面干涉产生的反射光谱可确定单层或多层薄膜(透明,半透明或全反射衬底)的厚度及 N*K 光学常数。
* 规格如有更改,恕不另行通知; ** 厚度测量范围即代裱光谱范围,是基于在高反射衬底折射率为 1.5 的单层膜测量厚度。