Thetametrisis FR-pRo膜厚仪膜厚测量仪

1. 产品概述

FR-pRo膜厚仪: 按需搭建的薄膜特性表征工具。

FR-pRo膜厚仪是一个模块化和可扩展平台的光学测量设备，用于表征厚度范围为1nm-1mm 的涂层。

FR-pRo膜厚仪是为客户量身定制的，并广泛应用于各种不同的应用。

比如：

吸收率/透射率/反射率测量，薄膜特性在温度和环境控制下甚至在液体环境下的表征等等…

2. 膜厚仪应用

FR-pRo膜厚仪可由用户按需选择装配模块，和心部件包括光源，光谱仪（适用于 200nm-2500nm 内的任何光谱系统）和控制单元，电子通讯模块。

此外，还有各种各种配件，比如:

通过不同模块组合，蕞终的配置可以满足任何终端用户的需求。

3. 膜厚仪规格（Specificatins ）

4. 膜厚仪配件（Accessries）

电脑	19 英寸屏幕的笔记本电脑/触摸屏电脑
聚焦模块	光学聚焦模块安装在反射探头上，光斑尺寸＜100um
薄膜/比色皿容器	在标准器皿中对薄膜或液体的透射率测量
接触式探头	用于涂层厚度测量和光学测量的配件，适用于弯曲表面和曲面样品
显微镜	用于高横向分辨率的反射率及厚度显微测量
Scanner (motorized)	带有圆晶卡盘的Polar（R-Θ）或 Cartesian（X-Y）自动化样品台可选，Polar（R-Θ）样品台支持反射率测量，Cartesian（X-Y）样品台支持反射率和透射率测量
积分球	用于表征涂层和表面的镜面反射和漫反射
手动 X-Y 样品台	测量面积为 100mmx100mm 或 200mmx200mm 的x - y 手动平台
加热模块	嵌入FR-tool 中，范围由室温~200oC，通过FR-Monitor 运行可编程温控器(0.1 oC 精度).
液体模块	聚四氟乙烯容器，用于通过石英光学窗口测量在液体中的样品。样品夹具，用于将样品插入可处理 30mmx30mm 样品的液体中
流通池	液体中吸光率、微量荧光测量

5. 膜厚仪工作原理

白光反射光谱(WLRS)是测量垂直于样品表面的某一波段的入射光，在经多层或单层薄膜反射后，经界面干涉产生的反射光谱可确定单层或多层薄膜（透明，半透明或全反射衬底）的厚度及 N*K 光学常数。

* 规格如有更改，恕不另行通知; ** 厚度测量范围即代裱光谱范围，是基于在高反射衬底折射率为 1.5 的单层膜测量厚度。

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