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激光干涉仪 PhaseCam 6110

激光干涉仪 PhaseCam 6110

1. 产品简

       PhaseCam 6110高分辨率类型激光干涉仪是PhaseCam6000系列激光干涉仪的另一种型号,有助于提高大孔径光学元件表面测量的分辨率,适用于数字处理和高分辨率系统调整。

       PhaseCam 6110干涉仪采用分离光源和干涉仪的设计,主体尺寸小。它还配备了特殊的调节架,易于安装和定位,并且便于进行五维调节,是测量焦距准直仪,低温光学真空实验等的理想仪器。
       PhaseCam 6110略大于PhaseCam 6010,并且具有更好的可维护性。
2. 基本属性
系统描述:对振动不敏感的Tiemann Green型动态相移激光干涉仪
采集方式:瞬时相移型带相位相关检测器
核芯技术:相移干扰技术(PSI)
光源:稳定频率HeNe@632.8nm;可选波长1550nm
相干长度:> 100m
光束直径:7mm
极化:圆极化
相机像素:2000×2000像素,12位
尺寸:测量头:<38.9 x 15.7 x 9.1厘米

          激光:48.3 x 20.3 x 11.9厘米

PhaseCam 6110 高分辨型激光干涉仪.png

3. 系统性能
采集速率:> 10帧/秒(实时显示)
                 > 15帧/秒(后处理)
zui小曝光时间:35微秒
样品反射率:1-100%(无衰减)
RMS重复性:<0.001wave *
RMS精度:<0.002wave **
* 10个数据的RMS值的1σ方差用作结果;每个数据是16次测试的平均值
**使用10个数据,每个数据是16次测试的平均值;这10个数据的平均值用作参考值;每个数据与参考值之间的差用于计算RMS平均值作为结果
4. 配置选项
扩束镜:Φ50mm,Φ100mm,Φ300mm

球面扩束镜:F / 1至F / 32;可以定制


关于4D Technology公司
       4D Technology成立于2002年,致力于为航空航天,天文学,光学制造,半导体和数据存储领域开发高精度测试仪器。 岱美仪器为4D技术公司的合作伙伴。该公司独有的动态相移测量技术改变了传统光学干涉仪对使用环境的苛刻要求,并极大扩展了该仪器的应用范围。 4D技术公司因其在这一领域的重大创新和杰出成就而赢得了许多荣誉,包括自2004年以来连续三年获得R&D100奖和NASA戈达德杰出贡献奖。 4D技术公司在激光干涉仪,光学仪器,软件开发,质量控制和技术支持方面拥有专业的团队。 其高质量的产品和服务赢得了许多世界一留企业客户的信任和认可。
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