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nSpec LS 晶圆缺陷检测光学系统

nSpec LS 晶圆缺陷检测光学系统
       本产品主要是用于检测晶圆表面的缺陷。是一套实用的晶圆缺陷检测光学系统。无论用户对样品检验有什么具体要求,我们都能提供广范的解决方案来获得快速的结果。
       nSpec LS是研发和过程开发的理想系统。它按顺序运行多个扫描。友好的用户界面软件使配置配方变得毫不费力。而且,随着需求的发展,配方保存和修改也是非常方便的。
1. 半自动晶圆缺陷检测功能
        ·基板,外延和图案化晶圆
        ·透明和不透明的材料
        ·在胶片胶带,托盘,凝胶包装或蛋饼形包装上模切
        ·光罩
        ·样品碎片
2. 系统
        ·多种分辨率设置,范围从0.25 µm及更高
        ·快速扫描
        ·可定制的缺陷报告
        ·各种样品夹头可满足特定需求
        ·对缺陷或感兴趣的特征进行检测和分类的鲁棒分析
        ·检查和审查程序
        ·多系统同步
        ·占地面积小,设施要求zui少
        ·机架安装控件
3. 系统参数
        重量:318 kg
        外观尺寸(W x D x H):53 cm x 133 cm x 176 cm
        zui小气压:24 in. Hg (70 kPa)
        电源:110v/220v, 3.5 amps
光学器件:
        照明模式:Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)
        光源:白光LED(也可选其他)
        物镜倍率:2.5, 5, 10, 20, 或50x,用户可选
工作台:
       典型行程:200 mm,X和Y方向
       定位:带有闭环编码器的线性伺服电机(分辨率为50 nm)
       重复性:+/- 0.5 µm

       行程平整度:30 µm

       结构:精密地面滚道和交叉滚子轴承
       支撑平台:显微镜/重型底座集成到隔离台中
       中心负载能力:2.27 kg
       重量:11.33 kg
       尺寸(W x D x H):35 cm x 37 cm x 4 cm
备选功能:
       AFM原子力显微镜:可根据要求提供规格
       SECS/GEM
       透射光
       自动传送晶圆片

如果您想了解关于这套型号为nSpec LS的晶圆缺陷检测光学系统更多的信息,请联系我们。

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