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晶圆缺陷自动光学检测(AOI)系统_nSpec PS

晶圆缺陷自动光学检测(AOI)系统_nSpec PS
1. AOI 产品简介
       无论用户对样品检测检验有什么具体要求,我们都能提供广范的解决方案来协助获得快速的结果。
       nSpec PS 晶圆缺陷自动光学检测(AOI)系统是用于晶圆缺陷检测的研发和生产的理想系统。nSpec PS按顺序运行多个扫描程序,友好的用户界面软件使配置配方变得毫不费力,而且,随着需求的发展,程序配方也易于保存和修改。
2. 全自动光学检测(AOI)功能
·适用于基板,外延和图案化晶圆
·可用于透明和不透明晶圆
·薄膜胶带,托盘,凝胶包装或华夫包装上的切成薄片的片
·用于光罩
·可处理样品碎片
产品特点
·自动化的晶圆装载机
·可设置多种分辨率
·快速扫描功能
·可定制的缺陷报告
·可设置单个图像捕获和扫描
·拥有各种样品夹头,可满足特定需求
·对缺陷或感兴趣特征进行检测和分类的鲁棒分析
3. 系统规格
重量:317 kg
尺寸(宽x深x高):176cm * 175cm * 203cm
蕞小真空要求:24英寸汞柱(70 kPa)
电源:110v / 220v,3.5A
4. AOI 光学性能
照明模式:明场,暗场,DIC(Nomarski)
光源:白光LED(可用其他选项)

物镜:2.5、5、10、20或50x,用户可选

晶圆缺陷检测光学系统 光学镜头.jpg

5. AOI 工作台
行程:典型的X和Y方向各200 mm
定位:使用闭环编码器定位线性伺服电机(分辨率50 nm)
重复性:+/- 0.5 µm
行驶平面度:30 µm
结构:施工精密地面滚道和交叉滚子轴承
限位开关:光学,不可调节
固定平台:显微镜,重型基座中心
负载能力:2.27 kg
重量:11.33 kg
尺寸(宽x深x高):35cm * 37cm * 4cm
6. 晶圆装载机
一次运行1个盒带:25个晶片/盒带,标准H型卡匣
标准晶圆尺寸:50、75、100、150或200mm
尺寸(宽x深x高):71 cm * 75 cm * 35cm
重量:54 kg
7. 备选项
AFM规格:可根据要求提供
SECS / GEM
OCR(透射光)

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