产品中心

PRODUCT CENTER


首页 > 产品中心 > 晶圆缺陷检测系统

快速自动晶圆宏观检测仪_nSpec Macro

快速自动晶圆宏观检测仪_nSpec Macro

1. 产品简介

       nSpec Macro是一种快速自动晶圆宏观检测仪,无论您有多特殊的晶圆检查要求,我们都能提供一系列解决方案来让您获得快速的结果。这种紧凑的系统设计用于对200 mm以下的晶圆进行高通量宏观检查。 以毫米为单位,nSpec Macro可以自动检测并量化从50到100微米的众多缺陷,这取决于视场或晶圆尺寸。

       nSpec Macro可以照亮样品的整个面,或设置照明角度和/或离散照明矢量。 明场,暗场,正交和可配置的倾斜照明角度与可单独配置的LED,配合使用可调节照明的强度,颜色和位置。
       该系统会自动导出CSV文件,并且与SECS / GEM兼容,也可以根据客户要求进行定制。
2. 自动化晶圆处理功能
       所有Nanotronicsn Spec Macros都装有满足行业标准要求的晶圆装载机。Nanotronics创造了末端执行器,可将整个单个晶圆和/或带有禁区的晶圆加载进去。每个末端执行器都是根据客户的需求设计的。
3. 控制软件
       配方易于配置,并可以根据需要保存。可以按顺序进行多次扫描,并且在照射角度,强度和波长方面具有完全的灵活性。 
4. 系统参数
        重量:62kg
        尺寸(宽x深x高):67厘米 x 74厘米 x 65厘米
        蕞小真空要求:20 in.Hg
        电源:110v / 220v,3.5安培
5. 光学特性
        暗场照明模式照明角度:0度
        倾斜照明模式照明角度:0至80度
        明场照明模式照明角度:90度

        正交照明模式照明角度:90度(通过镜头)

晶圆缺陷检测光学系统 光学镜头.jpg

6. 晶圆装载机
        一次运行1个卡夹:标准H型卡夹
        标准晶圆尺寸:50、75、100、150或200mm

未经许可不得复制、转载或摘编,违者必究!