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自动光学检测系统_nSpec CPS

自动光学检测系统_nSpec CPS

       这个晶圆光学检测系统具有人工智能的自动检查功能。先进的图像处理AOI系统可提供可定制性和灵活性,以及可靠,高度可重复的结果。可以对AI增强的软件nTelligence进行培训,以使用nSpec®上的稀疏数据检测缺陷。一旦经过训练,就可以将算法导入到生产工具中,并且用户可以开始自动对感兴趣的缺陷和特征进行分类。该系统生成晶片上检测到的所有缺陷的缺陷图报告。

       无论用户对样品检验有什么具体要求,我们都能提供广范的解决方案来获得快速的结果。
       nSpec®CPS 300mm自动光学检测系统是高度受控的洁净室环境的理想系统。该系统可按顺序运行多个扫描程序。用户友好的软件使配置配方变得毫不费力。而且,随着需求的发展,配方非常易于保存和修改。
1. 这种300毫米尺寸的设备支持:

  • HEPA空气过滤
  • 空气离子发生器
  • 自动加载端口
2. 产品特征
  • 晶圆自动处理
  • 可设置多种分辨率,范围从0.25 µm到更高
  • 快速扫描功能
  • 可定制的缺陷报告
  • 可设置单个图像捕获和扫描
  • 提供各种样品夹头,可满足特定需求
  • 对缺陷或感兴趣特征进行检测和分类的鲁棒分析
  • 拥有检查和审查程序
  • 能够多系统同步
  • 占地面积小,设施要求蕞少
  • 利用机架安装控件
  • 带有门联锁


晶圆缺陷检测光学系统 光学镜头.jpg
3. 系统基本参数
  • 重量:540公斤
  • 尺寸(宽x深x高):158cm x 173cm x 202cm
  • 蕞小真空要求:24英寸汞柱(70 kPa)
  • 电源:110v / 220v,30安培
4. 光学性能
  • 照明模式:明场,暗场,DIC(Nomarski)
  • 光源:白光LED(可用其他选项)
  • 物镜倍数:2.5、5、10、20或50x,用户可选
5. 光学平台
  • 行程:典型值为350 mm(X和Y方向)
  • 定位:使用闭环编码器,线性伺服电机(步进为50 nm)
  • 重复性:+/- 0.5 µm
  • 行程平整度:20 µm
  • 结构:施工精密地面滚道和高刚性直线导轨
  • 支撑平台:集成到隔离平台中
  • 带有橱柜系统
  • 中心负荷能力:5公斤
6. 备选功能
  • 可根据要求提供AFM 
  • SECS / GEM OCR
  • 空气电离仪

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